国産マグネトロンスパッタメータ

一、製品の応用：

JS-600M型ミニマグネトロンスパッタ二極（DC）直流スパッタリング原理設計を採用し、マグネトロンターゲットヘッドを持ち、水冷機能がある。装置の操作は簡単で便利で、走査電子顕微鏡（SEM）サンプルの調製、非導体材料実験電極の作製に適している。

マグネトロンスパッタリングは冷スパッタリングであり、サンプル表面の昇温が低く、温度に敏感な薄膜サンプルに適している。ユーザーは自分の必要に応じて異なる真空条件、スパッタ電流を自分で選択することができる。大サイズの真空チャンバ設計は、大サンプルのスパッタリング需要を満たす。純度99.999%の金ターゲットを標準装備し、高品質の金膜を得るために良好な基礎を提供した。

二、配置及び技術指標：

1.本システムは水冷却マグネトロンターゲットを組み立て、ターゲット面の直径は50 mmである、

2.本体仕様：L 360 mm*W 300 mm*H 380 mm、

3.ターゲット（上部電極）：金：直径：50 mm、厚さ：0.1 mm、

4.真空試料室：直径：160 mm、高さ：110 mm、

5.スパッタリング面積：φ50 mm、

6.作動真空：2×10-1-6×10-2 mbar、

7.イオン電流計：0-100 mA、

8.タイマー：スパッタリング習慣に基づいて単一スパッタリング時間を設定する、

9.ニードルバルブ：吸気口を備え、微量の空気入れ調節、φ4*2.5 mmホースを接続することができる、

10.作業室の作動媒介ガス：空気やアルゴンなどの多種のガス、

11.スパッタ電圧：−1600 DCV、

12.飛躍真空ポンプ（VRD-4）：1.1 L/S。

三、製品特徴：

1.軽量でスパッタ面積が大きい、

2.白金、金、銀及び酸化亜鉛をスパッタすることができ、

3.スパッタリング効率が高く、水冷冷却ができる、

メモ：JS-600 Mミニマグネトロンスパッタ適用可能なターゲット：金、白金、銀。