HD型真空ポンプ

真空ポンプ製品の概要

我が国には真空ポンプを生産するメーカーが多く、全真空ポンプの年間売上高は約1億5000万元で、米国の1社の真空ポンプの年間売上高に相当するだけである。真空ポンプ市場の分析を通じて、各種類の真空ポンプの市場と応用分野は絶えず変化と発展していることがわかる。我が国の真空ポンプ製造業は長い歴史と豊富な基礎を持っており、国産真空ポンプはすでに各分野で応用され検証されており、一部のポンプは国外に輸出され、国外のユーザーの認可を得て評価されており、我が国の真空ポンプ製造業は国内外市場で依然として巨大な発展空間を持っていると言うべきである。

真空ポンプ製品の概要

製品の特徴

（1）比較的広い圧力範囲内で大きな抽気速度がある、

（2）回転子は良好な幾何対称性を持っているので、振動が小さく、運転が安定している。ロータ間及びロータとケーシング間には隙間があり、潤滑を使わず、摩擦損失が小さく、駆動電力を大幅に低減でき、それによって高い回転速度を実現することができる、

（3）ポンプキャビティ内に油密封と潤滑を必要とせず、油蒸気による真空システムの汚染を減らすことができる、

（4）ポンプ室内に圧縮がなく、排気弁がない。構造が簡単で、コンパクトで、排気ガス中のほこりと水蒸気に敏感ではない、

（5）圧縮が比較的に低く、水素抽気に対する効果が悪い、

（6）回転子表面は形状が複雑な曲線円筒面であり、加工と検査が困難である。

構造

（1）ポンプ全体構造型式

真空ポンプのポンプ本体の配置構造はポンプの全体構造を決定する。

縦型構造の吸気口、排気口は水平に設置され、配管の組み立てと接続が便利である。しかし、ポンプの重心は高く、高速運転時に安定性が悪いため、このタイプは小さなポンプに多く使われている。

横型ポンプの吸気口は上にあり、排気口は下にある。真空システム配管の取り付け接続を容易にするために、排気口を水平方向から接続することができ、すなわち、進入、排気方向は互いに垂直である。このとき、排気口は左または右の2方向から開口することができ、排気ダクトの一端を除いて、他端はバイパス弁を塞いだり、接続したりすることができる。このポンプ構造は重心が低く、高速運転時の安定性がよい。一般的に大・中型ポンプはこのような構造を採用することが多い。

ポンプの2つのロータ軸は水平面に垂直に取り付けられている。この構造の組み立て隙間は制御しやすく、ロータの組み立てが便利で、ポンプの敷地面積が小さい。しかし、ポンプの重心が高く、歯車の着脱が不便で、潤滑機構も相対的に複雑である。

（2）ポンプの駆動方式

真空ポンプの2つのロータは、1対の高精度ギアによって相対的な同期運転を実現している。ドライブシャフトは、カップリングを介してモータに結合される。伝動構造の配置には主に以下の2種類がある：1つはモータと歯車が回転子の同じ側に配置されている図である。従動ロータはモータ端歯車から直接伝達されて駆動され、このようにアクティブロータ軸のねじれ変形が小さいと、2つのロータ間の隙間はアクティブシャフトのねじれ変形が大きいために変化しないので、ロータ間の隙間は運転中に均一になる。この伝動方式のzuiの大きな欠点は：a.ドライブシャフトには3つの軸受があり、ポンプの加工と組み立ての難度を高め、ギアの着脱と調整も不便である、b.全体構造が不均衡であり、ポンプの重心がモータとギアボックス側に偏倚している。