OPTMシリーズマイクロ分光膜厚計

•顕微分光法を用いて微小領域における反射率を*により測定することにより、高精度の膜厚/光学定数分析を行うことができる。

・塗膜の厚さは、各種の膜、ウエハ、光学材料、多層膜などの非破壊的かつ非接触で測定することができる。測定時間は、1秒/点の高速測定が可能であり、初めて使用するユーザでも光学定数を容易に解析できるソフトウェアを搭載している。

•ヘッドにはフィルム厚さ測定に必要な機能が統合されている

•顕微分光法による高精度＊反射率（多層膜厚、光学定数）の測定

•1点1秒高速測定

•顕微分光下の広範囲の光学系（紫外から近赤外）

•エリアセンサの安全機構

•分析ウィザードが容易で、初心者でも光学定数分析が可能

•独立測定ヘッドは各種inlineカスタム化ニーズに対応

•さまざまなカスタマイズをサポート

測定項目：

•*はい反射率測定

•多層膜解析

•光学定数解析（n：屈折率、k：消衰係数）

OPTMシリーズマイクロ分光膜厚計