供給管式炉価格

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概要

大口径高温高圧チップ焼鈍管式炉設備は大サイズ（最大サイズは8インチ）基板焼鈍処理に使用され、設備は抵抗線を加熱素子とし、保温材はアルミナ繊維炉内腔の真空吸着成形、抵抗線はインサート式一体成形、この設備には真空及び給気システムも統合されている。

製品詳細

大口径高温高圧チップ焼鈍管式炉設備は比較的大きいサイズ（最大サイズは8インチ）基板のアニール処理に用いられ、設備は抵抗線を加熱素子とし、保温材料はアルミナ繊維炉心の真空吸着成形であり、保温性能が良く、抵抗線はインサート式一体成形であり、美観、省エネである、この設備はまた真空及び給気システムを集積し、より多くのプロセス条件の要求を満たす。耐高温金属管を高温炉管とし、高温動作条件を満たし、真空または一定の正圧条件実験要求を満たすこともでき、清潔な大型サンプル熱処理設備である。

設備型番：LFT 1200 C 450 D 254

定格電圧：380V

定格電力：13 KW

最高温度：1000℃

定格温度：900℃

昇温速度：10℃/min

熱電対タイプ：K型熱電対

温度制御精度：±1℃

限界真空度（オプション）：1.0×10^-3Pa（メカニカルポンプ+分子ポンプ）

加熱素子：OCr 27 Al 7 MO 2（モリブデン添加鉄クロムアルミニウム合金）

炉管寸法（お客様の要件に応じてカスタマイズ可能）：内径245*600 mm（管塞ぎを含む）

外形寸法（長×深×高さ）：1900*700*2100mm

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