超高真空バルブを販売するにはどの家がいいですか

スイスVAT UHVシリーズ超高真空バルブ

一、UHVシリーズコア特性

1.製品の位置づけ

• タイプ：全金属シール超高真空バルブ（Ultra-High Vacuum Valve）

• 適用真空範囲：

• スタンダード版：10⁻⁹ ~ 10⁻¹² mbar

• カスタム版：10µ㎥mbar（特殊ベーキング設計）に達することができる

• コアメリット：

• ゼロリーク：金属シール漏れ率<1×10⁻²mbar=''>（He漏れ検出）。

• 高温焼成に耐える：弁体許容250°C〜300°Cベーキング（標準版）/450度（カスタム版）。

• 有機材料なし：全金属構造で、排気汚染を避ける。

2.設計

• ダブルシールシステム：主シール（金属刃）＋二次シール（弾性補償）。

• 低トルク駆動：磁気結合またはベローズ伝動、軸封漏れを避ける。

• ざいりょうじゅんど：316 Lステンレス鋼（EP級電解研磨）、表面粗さ<0.8μm。<>

二、型番分類と技術パラメータ

1.モデル命名規則（VAT UHV 24を例に）

2.サブモデル比較表

3.詳細な技術パラメータ

三、典型的な応用シーン

1.半導体製造

• アプリ：

• エッチングマシン/イオン注入マシンのキャビティ分離（粒子汚染防止）。

• 分子ビームエピタクシー（MBE）システムの超高真空維持。

• モデル推奨：

• VAT UHV 24-A（DN 40、空気圧急速隔離）。

2.科学研究装置

• アプリ：

• シンクロトロン放射光源のビームライン制御。

• トカマクなどの核融合装置の真空セグメント。

• モデル推奨：

• VAT UHV 54−M（DN 100、手動信頼性シール）。

3.宇宙とめっき

• アプリ：

• 衛星推進剤タンクの真空密封試験。

• 光学コーティング機の空洞圧力調節。

• モデル推奨：

• VAT UHV 10−E（DN 16、電動精密制御）。

四、タイプ選択と設置のポイント

1.選択の重要な要素

• パス要件：流量に基づいて計算する（例えばDN 40対約20 L/s@10⁶mbar）。

• くどうモード：

• 空気圧：クイックスイッチ（安全隔離に適している）。

• 電動：PLCなどの自動制御を統合できます。

• フランジ基準：

• CFフランジ：超高真空（金属密封）。

• ICFフランジ：最小漏れ率要件（10µ㎥mbarなど）。

2.設置規範

• クリーニング要件：

• 取り付け前にフランジ面をアセトン/アルコールで洗浄する（クリーン手袋を着用）。

• トルク制御：

• CFフランジボルトは対角線で段階的に締め付ける必要がある（DN 40推奨8 ~ 10 Nm）。

• ベーキングの推奨事項：

• 10°C/minの速度で250°Cに昇温し、48時間保温した。

五、メンテナンスと故障処理