日本AF？ミクロン級深さ高さ測定器手動測定

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モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

1.光切断されたスリット画像観察と点光画像のAF（オートフォーカス）追跡を組み合わせた新型深さ高さ測定機である。2.AF駆動を連続追跡することにより、高精度の繰り返し測定を実現でき、操作性が良く、速度が速い。3。スリット画像がマッピングした段差形状を見ながら測定する方式であるため、測定画面上の高低をリアルタイムで認識でき、測定が必要な部位を容易に判断することができる。4.測定点におけるスリット画像・点光像・電子線基準線の中心がすべて一致する測定システムは、偏差を検査することにより、誤った数値で測定することを防止することができる。5.光切断の仰角は標準的な90°に加えて、用途に応じて30°60°120°を導入することができる。

製品詳細

主な仕様

観察方法

ひかりカットオフほうしき

■対物レンズ

固定倍率10倍（5倍、20倍）

シャフトドライブ方式

スポット光によるAF連続追跡方式（オフライン時に手動で測定可能）

とうしゃすきま

10 umハーフミラータイプ

Z軸測定

Z軸デジタル線形計器0.1読み

くりかえしせいど

~ 1ミクロン以内

光源の使用

半導体レーザ（クラス2）、ハロゲン光源

断面形状を表す細いスリット光、赤色レーザスポット、段差の変化を自動的に捉える、Z

軸機能が迅速に追従し、測定値のデジタル表示（オートフォーカス）・システム）機能

電子線方式の基準線と組み合わせて測定範囲を拡大し、利用価値を高めたのは、

新型の深さ高さ測定機。

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